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光學(xué)視頻接觸角測量儀在半導(dǎo)體晶圓玻璃面板的應(yīng)用

更新時(shí)間:2020-12-26點(diǎn)擊次數(shù):1880

光學(xué)視頻接觸角測量儀在半導(dǎo)體晶圓玻璃面板的應(yīng)用

水滴角測量儀/接觸角測量儀的算法必須能夠?qū)崿F(xiàn)修正重力影響條件下準(zhǔn)確分辨左、右角度值的能力。水滴角測量儀或接觸角測量儀自20世紀(jì)70年代開始生產(chǎn),且實(shí)現(xiàn)了很好的銷售業(yè)績。

利用水表面張力靈敏度非常高的特性,通過左、右角度偏差值以及水接觸角的變化范圍,定義材料表面的清潔度,分析等離子清洗(Plasma)效果。


 
 
特別指出的是,如上所述,重力會(huì)影響水滴角的測量。通常而言,量角器法的水滴角測量儀或接觸角測量儀是通過控制進(jìn)液的精度想達(dá)到實(shí)現(xiàn)或提升重復(fù)性的目標(biāo),控制的液滴量通常為2uL左右。但是,即使是2uL,此時(shí)仍然存在重力影響,測值結(jié)果仍然與真正的Young-Laplace方程擬合算法得出的數(shù)據(jù)不一致的。且,通過而言,除非采用噴射針頭,其他的針頭進(jìn)液方法均需要通過移液,即將水滴接觸到固體樣品后,利用固體的表面張力將水滴吸下去。正是由于固體表面張力不同,很難確保終滴下的液滴量是*一致的。需要注意的是,沒有一致的兩個(gè)液滴的,也不能說0.1uL誤差就會(huì)導(dǎo)致不受重力影響了。
 
更值得注意的是,測試水滴角值時(shí),我們需要利用左、右角度變化以及測值精度的偏差來判斷清潔度,兩個(gè)數(shù)據(jù)是綜合起來運(yùn)用的。因而,通過滴多個(gè)液滴并評(píng)估水滴角多個(gè)值的變化事實(shí)上已經(jīng)是非常效率低下,準(zhǔn)確度不高的技術(shù)了。
 

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