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激光共聚焦顯微鏡

更新時間:2021-01-11點擊次數(shù):1706

 

激光共聚焦顯微鏡OLS5000可觀察納米范圍的臺階,并可測量亞微米級別的高度差。還可以測量從線到面的表面粗糙度。配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000 有4大關(guān)鍵價值:

捕捉任意表面形狀。

快速獲得可靠數(shù)據(jù)。

使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。

測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。

價值1:捕捉任意表面形狀。

   

OLS5000顯微鏡的技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,終實現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

價值3、使用簡單,只需放置樣品并按一下按鈕即可

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LEXT OLS5000顯微鏡具有自動數(shù)據(jù)采集功能,因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。

價值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

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低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您只需將樣品放在載物臺上即可。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000獲取彩色信息
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000405納米激光光源

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統(tǒng)顯微鏡具有橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。
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激光共聚焦顯微鏡OLS5000激光共焦光學(xué)系統(tǒng)

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

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激光共聚焦顯微鏡OLS5000 X-Y掃描儀

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

激光共聚焦顯微鏡OLS5000高度測量原理

在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點位置(Z)和檢測光強(qiáng)度(I)可以估算每個像素的光強(qiáng)變化曲線(I-Z曲線),并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng),因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像(擴(kuò)展圖像)。

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