半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡采用符合人體工學(xué)的易用設(shè)計(jì)，能夠提供大 300mm 晶圓、平板顯示器、印刷電路板、以及其他大型樣本的高品質(zhì)觀察。該產(chǎn)品采用靈活的模塊設(shè)計(jì)，能夠提供適用于多種檢查用途的觀察系統(tǒng)。

半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動(dòng)了包括半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個(gè)電子制造業(yè)的進(jìn)步。適合大樣品的檢測、人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。

半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

長壽命高強(qiáng)度白色LED照明：始終一致的色溫

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的特點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

功能性：適合所有晶園尺寸

新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于大晶圓直徑200mm，MX63L可用于大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)可靠、安全、的對晶圓正面和背面進(jìn)行檢測。

 
模塊化：全面可定制

新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。