三維表面檢測(cè)儀的全自動(dòng)測(cè)量過程中優(yōu)異的影像識(shí)別能力使得全自動(dòng)測(cè)量成為可能。批量產(chǎn)品的數(shù)據(jù)可以通過按一個(gè)按鈕實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量和自動(dòng)輸出結(jié)果，改變傳統(tǒng)的依靠經(jīng)驗(yàn)的手動(dòng)測(cè)量方式，使自動(dòng)測(cè)量的重復(fù)性控制在微米級(jí)，很大程度地提高檢測(cè)水平，促進(jìn)制造品質(zhì)的提高。

　　三維表面檢測(cè)儀可加裝激光、探針、轉(zhuǎn)臺(tái)等傳感器，實(shí)現(xiàn)一個(gè)坐標(biāo)系下的多元傳感的綜合應(yīng)用，提供復(fù)雜測(cè)量難題的解決方案。廣泛用于汽車、電子、五金、塑膠、模具等行業(yè)中，可對(duì)工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測(cè)，從而完成零件檢測(cè)、外形測(cè)量、過程控制等任務(wù)。

　　三維表面檢測(cè)儀能用于表面微觀形貌分析的測(cè)量系統(tǒng)，按基于不同的物理原理，可將它們分為參數(shù)方法和輪廓方法。參數(shù)法所產(chǎn)生的參數(shù)表示所檢測(cè)表面的一些平均性能；而輪廓法逐點(diǎn)掃描獲得形貌信息。輪廓法被認(rèn)為是可以測(cè)量真實(shí)的3D形貌，給出相對(duì)于位置高度的定量信息。

　　按傳統(tǒng)的分類方式，表面測(cè)量又可分為接觸式和非接觸式。觸針式儀器是典型的接觸方法，而光學(xué)儀器是非接觸式方法，掃描探針顯微鏡既是接觸式又是非接觸式。

　　光學(xué)測(cè)量方法主要的問題一直是包含許多的變量，測(cè)量參數(shù)和表面形貌之間的相關(guān)性難以確定。

　　因?yàn)楣馀c表面干涉的所有現(xiàn)象都受到表面粗糙度的影響，所以光學(xué)方法數(shù)量多，如基于反射、繞射、偏振、光斑等研究的方法，橢圓對(duì)稱法作為用于在線控制表面粗糙度的潛在工具。